本社住所: 東京都千代田区鍛冶町二丁目10-7
官公庁、大学、民間研究機関向けに真空機器の製造・販売を手がけています。特に超高真空技術を応用した蒸着装置やスパッタリング装置などの成膜装置を主力としています。電
本社住所: 東京都品川区西五反田二丁目24-11 ALUBLDG．
同社は、各種ウェーハープロセス装置用部品・材料の設計、製造、輸入、販売を手がけています。半導体および液晶製造装置向けのスパッタリング装置や高純度水素精製装置など
