Eigyo 営業製作所
株式会社東邦鋼機製作所
設立 1956年従業員数 16人資本金 3億円
加工方法マシニングセンタ加工CNC旋盤加工中ぐり加工
設備基板加工設備門型マシニングセンタ横中ぐり盤
対応可能な材料樹脂・プラスチック窒化アルミ炭化ケイ素
株式会社東邦鋼機製作所の概要
同社は、発電用タービンや宇宙航空機、橋梁などの大型構造物向け精密機械部品加工を長年手がけています。1998年に半導体業界へ参入し、精密加工技術を応用。半導体基板研磨用CMPパッドの加工から関連装置の製造へと事業を拡大しました。現在は、次世代半導体基板平坦化加工装置（CARE装置）の製造販売を主力とし、電気自動車や高速通信機器向けに貢献しています。CMPパッド関連事業や大型機械部品の受託加工も行っています。
株式会社東邦鋼機製作所の事業内容
次世代半導体基板平坦化加工装置（CARE装置）の製造販売,CMPパッド加工装置の製造販売,CMPパッドの受託加工,大型機械部品の加工,AlN基板の製造販売,単結晶SiC基板とSiC貼り合わせ基板の販売
株式会社東邦鋼機製作所の設備情報
| 設備 | メーカー | 特徴・能力 | 保有台数 |
|---|---|---|---|
| 基板洗浄装置 | - | - | 1台 |
| 門型ドリルセンター | 不二精機 | - | 2台 |
| CARE加工装置 | 自社 | - | 4台 |
| 横中グリ盤 | 芝浦機械 | - | 3台 |
| 基板表面検査装置 | レーザーテック | - | 5台 |
| CMPパッド加工装置 | 自社 | - | 2台 |
| スパッター装置 | アルバック | - | 2台 |
| クリーン室 | - | - | 1台 |
| リフト | 住友ナコフォークリフト | - | 3台 |
| 基板物性・特性検査装置 | リガク | - | 2台 |
| ターニング | オーエム製作所 | - | 7台 |
| 天井クレーン | 名古屋工業所 | - | 7台 |
株式会社東邦鋼機製作所の詳細情報
- 設立
- 1956年7月
- 従業員数
- 16名
- 資本金
- 3億円
- 郵便番号
- 〒512-8062
- 住所
- 三重県四日市市黄金町38
- 電話番号
- 059-365-4381
- FAX
- 059-365-4383
- 公式サイト
- https://tohokoki.jp/
株式会社東邦鋼機製作所の沿革
| 1958年 | 四日市市大井の川町に工場を建設、化学機器の設計製作・据付を開始 |
|---|---|
| 1967年 | 四日市機械金属工業団地協同組合に加入し、現本社工場を建設。 |
| 1982年 | 資本金5000万円に増資。NC工作機械の本格導入開始。 |
| 1986年 | 東邦エンジニアリング株式会社を設立、半導体分野に進出。 |
| 2000年 | CMPパッド溝加工装置、CMPシリーズを発売。 |
| 2002年 | 埼玉大学(土肥教授)とCMPパッドの共同研究開始。 |
| 2004年 | 米国ARACA Inc.に出資。CMP関連サービス事業を開始。 |
| 2008年 | 国立台湾科技大学(陳教授)とTSV-CMPの共同研究。 |
| 2009年 | 大阪大学(山内教授、佐野准教授)が発明したCARE法の研究に参加。 |
| 2011年 | 研磨パッド着脱用 再盛エコキャップ®を発売。 |
| 2012年 | 経済産業省イノベーション拠点立地推進事業採択(CARE法用研磨パッドの評価設備整備) |
| フランス原子力庁電子情報技術研究所と研磨パッド再生技術について共同研究。 | |
| 2013年 | 戦略的基盤技術高度化支援事業採択(CARE法基本技術の開発) |
| 2014年 | パッド溝検査装置INSシリーズを発売する。 |
| 2015年 | NEDO革新的ものづくり産業創出連携促進事業採択(実用化のためのCARE法要素技術の開発) |
| 2018年 | 実験装置CARE-TEC®1号機を名古屋大学様へ納入 |
| 戦略的基盤技術高度化支援事業採択(CARE応用技術開発) | |
| 三重大学(三宅教授)とAlNテンプレートに関する共同研究開始。 | |
| 2021年 | 戦略的基盤技術高度化支援事業採択(AlNテンプレートの開発) |
| 東邦鋼機が東邦エンジニアリングを吸収合併。資本金を8000万円に増資。 | |
| 2022年 | 半導体基板生産用、新クリーン室(450m2)完成 |