Eigyo 営業製作所
株式会社東邦鋼機製作所
設立 1956年従業員数 16人資本金 3億円
同社は、発電用タービンや宇宙航空機、橋梁などの大型構造物向け精密機械部品加工を長年手がけています。1998年に半導体業界へ参入し、精密加工技術を応用。半導体基板
加工方法粉体塗装マシニングセンタ加工CNC旋盤加工中ぐり加工単発プレス塗装洗浄
設備ターニングセンター横中ぐり盤門型マシニングセンタ天井クレーンロボット洗浄機基板加工設備パッド印刷機エッチング装置
対応可能な材料樹脂・プラスチック窒化アルミ炭化ケイ素窒化チタン（TiN）サファイアガラス
概要
同社は、発電用タービンや宇宙航空機、橋梁などの大型構造物向け精密機械部品加工を長年手がけています。1998年に半導体業界へ参入し、精密加工技術を応用。半導体基板研磨用CMPパッドの加工から関連装置の製造へと事業を拡大しました。現在は、次世代半導体基板平坦化加工装置（CARE装置）の製造販売を主力とし、電気自動車や高速通信機器向けに貢献しています。CMPパッド関連事業や大型機械部品の受託加工も行っています。
事業内容
次世代半導体基板平坦化加工装置（CARE装置）の製造販売,CMPパッド加工装置の製造販売,CMPパッドの受託加工,大型機械部品の加工,AlN基板の製造販売,単結晶SiC基板とSiC貼り合わせ基板の販売
設備情報
| 設備名 | 加工方法名 | メーカー名 | 保有台数 |
|---|---|---|---|
| ターニング | - | オーエム製作所 | 7台 |
| 横中グリ盤 | - | 芝浦機械 | 3台 |
| 門型ドリルセンター | - | 不二精機 | 2台 |
| 天井クレーン | - | 名古屋工業所 | 7台 |
| リフト | - | 住友ナコフォークリフト | 3台 |
| クリーン室 | - | - | 1台 |
| CARE加工装置 | - | 自社 | 4台 |
| CMPパッド加工装置 | - | 自社 | 2台 |
| スパッター装置 | - | アルバック | 2台 |
| 基板表面検査装置 | - | レーザーテック | 5台 |
| 基板洗浄装置 | - | - | 1台 |
| 基板物性・特性検査装置 | - | リガク | 2台 |
詳細情報
| 設立 | 1956-07 |
|---|---|
| 従業員数 | 16名 |
| 資本金 | 3億円 |
| 郵便番号 | 〒512-8062 |
| 住所 | 三重県四日市市黄金町38 |
| 電話番号 | 059-365-4381 |
| FAX | 059-365-4383 |
| 事業内容 | 次世代半導体基板平坦化加工装置（CARE装置）の製造販売,CMPパッド加工装置の製造販売,CMPパッドの受託加工,大型機械部品の加工,AlN基板の製造販売,単結晶SiC基板とSiC貼り合わせ基板の販売 |
| 公式サイト | https://tohokoki.jp/ |