株式会社ソフエンジニアリング

概要

同社は半導体、エレクトロニクス、フォトリソ、エネルギー業界向けに各種ウェット処理装置を提供しています。パターンニングプロセス（現像・エッチング・剥離/リフトオフ・洗浄）に対応するカスタム仕様の装置開発を手がけています。SPIN枚葉装置やウェットステーションタイプのバッチ処理装置など、多様な方式の装置技術とプロセスノウハウを有しています。特に、フォトマスク洗浄機や脆弱基板向けの特殊処理装置において実績を重ねています。

事業内容

パターンニングプロセス向けウェット処理装置の製造、各種ウェット処理装置のカスタム開発、フォトマスク洗浄機の製造、枚葉SPIN/Dip方式システム装置の製造、ワンスピンフルプロセス処理装置の製造、システム装置の設計・製造・販売

設備情報

詳細情報