株式会社ピクリング

株式会社ピクリングの概要

半導体業界および関連分野向けに、カスタマイズされた自動化装置の製造開発を行うセットアップメーカーである。主力製品には、自動ねじ締め・ねじ外し機、暗電流測定機、チップ外観検査装置、モジュール組立機、厚さ測定機（レーザセンサ/エアーセンサ）、ランプアニール装置（高速熱処理装置）、超音波メタルボンディング装置（セミオート）、スピンコータ、パワーモジュール信頼性評価試験装置などがある。 厚さ測定機は、エアーセンサとレーザセンサの2種類を搭載し、非接触でワークを傷つけずに測定が可能である。エアーセンサはφ0.2mm、レーザセンサはφ60μmの測定範囲を持ち、それぞれ最大10mm、2.5mmの厚みまで対応する。ウェハの厚みや反り測定、オリフラ合わせユニットも搭載し、1スキャンで実行できる。 ランプアニール装置は、4インチ、6インチ、8インチのウェハサイズに対応し、最高昇温速度200°C/秒、最高到達温度1,250°Cのクローズドループ高速熱処理を実現する。最先端の温度制御アルゴリズムによりオーバーシュートやアンダーシュートのない熱処理が可能で、優れたウェハ間温度プロファイル再現性を有する。オプションで広域レンジパイロメーターによる高精度温度計測が可能であり、各種プロセスガス用に最大4つのMFCを組み込める。ガラス基板や化合物半導体用に各種サセプタが用意されており、R&Dから生産用途まで対応する。 超音波メタルボンディング装置（セミオート）は、最大200mm×200mmのワークサイズに対応し、60～80mmの端子高さまで溶着可能である。マルチポイント溶着や画像認識による溶着ポイント設定が可能で、アタッチメント交換により多品種のワークに対応できる。溶着後の飛粉末除去機能やインライン接合による装置のフルオート化も可能である。 スピンコータは、2インチ～6インチウェハ用のレジスト塗布に対応し、膜厚0.8μm～1μm（参考値）、スピン回転数50rpm～6000rpm（任意設定）の仕様を持つ。回転式ベーク炉は50°C～200°C±1%の温度制御が可能で、2トラック構成での並列処理やダブルアーム搬送ロボット2機搭載により、約80枚/hの処理能力を有する。カスタマイズ対応も可能である。 パワーモジュール信頼性評価試験装置は、最大200mm×200mmのワークサイズに対応し、アタッチメント交換により多品種ワークに対応する。データロガー機能およびホストPCへのデータ送信機能を備え、LCR試験、絶縁耐圧試験、絶縁微小VI試験、微小VI試験、ICES印加連続試験（常温/高温）、IGES試験、サーミスタ試験（絶縁試験）などの信頼性評価が可能である。10nA測定用ピコアンメータを搭載している。 モジュール組立機は、自動ねじ締め機構によりねじ供給から締め付けまでを行い、XYステージを用いたディスペンスによる多様な接着剤塗布が可能である。接着剤塗布状況確認カメラ（画像認識）、接着時の押付け用加圧機構（トルク制御）、ホットプレート、クールプレート、クリーナーノズル（集塵機付き）を備え、ワーク投入口、ねじ投入口、取出し口にはライトカーテンを装備している。 チップ外観検査装置は、2軸カメラを採用し、カメラ1で素子面のキズ、ゴミ、ワイヤー形状及び断線を、カメラ2でチップ位置ズレ、サイズ、スルーホール穴詰まりを検査する。マガジンtoマガジンでの自動運転、供給・排出2マガジン仕様で、不良品は欠陥カテゴリー別に分類される。 暗電流測定機は、暗BOX内部で数種類の電圧を印加し、それぞれの暗電流値を測定・評価する装置である。ホットプレートを搭載しており高温測定も可能。専用治具交換により多品種測定に対応し、画像処理による自動コンタクトが可能である。マニプレータは個別動作するため段取り替えが不要で、画像処理による受光素子の位置判定も行える。専用カセット6ヶ（LD側:3ヶ/ULD側:3ヶ）搭載可能で、最大□1.5mmまでのワークを搭載できる（その他サイズも検討可能）。 自動ねじ締め・ねじ外し装置は、マガジンから専用治具（トレイ）を取り出し、ねじ締めまたはねじ外しを行った後マガジンへ挿入するフルオートマシンである。専用治具（トレイ）交換により多品種対応が可能で、ねじ供給が自動でビット部分へ供給されるためタクト短縮が可能。ねじ締めトルク判定機能・波形判定機能により締付状態を監視し、外したねじのカウントや回収数を任意設定できる。 同社は、半導体業界、フラットパネル業界、自動車業界などを主要な取引先としており、半導体製造装置やフラットパネル等の検査・測定用自動搬送機の製作、他社エンジン（センサ）を利用した自動機の製作などを行っている。所在地は神奈川県横浜市港北区新羽町925番地である。設立は2009年12月16日、資本金は10,000千円である。

株式会社ピクリングの詳細情報