スピードファムクリーンシステム株式会社

スピードファムクリーンシステム株式会社の概要

精密洗浄装置の開発・製造・販売を行う企業である。クラス10、100、1000の洗浄環境を備えた専用プロセスラボを有し、顧客の洗浄ニーズを的確に把握した上で、洗浄テストやデモンストレーションを繰り返し実施し、最適な洗浄プロセスを構築する。そのプロセスに基づき、顧客に最もマッチした洗浄装置の仕様提案、設計、製造、設置、立上げまでを一貫して行う。納入後も装置と消耗副資材の両面から定期的なフォローアップを行い、洗浄プロセスの改善・改良にも迅速に対応する「Before & After」サービスを提供している。 主力製品は、バッチ洗浄装置、枚葉洗浄装置、スピン枚葉洗浄装置であり、それぞれに洗浄と乾燥のプロセスが含まれる。具体的には、HDD基板洗浄装置、HD用カセット洗浄装置、EL基板洗浄装置、各種ウェーハ用洗浄装置などの開発実績がある。洗浄技術としては、流水スクラブ洗浄、流水超音波洗浄（PAT.）、超音波併用・4面オーバーフロー洗浄、シャワー洗浄付QDR（クイック・ダンプ・リンス）などを採用している。乾燥技術としては、NEO乾燥、温純水引き上げ乾燥（PAT.）、IPA蒸気乾燥、スピン乾燥、真空乾燥、温風乾燥などを提供する。 また、レーザー装置の開発も行っており、YAGレーザー装置は、金属に対する光エネルギー吸収性が高く、少ないエネルギーで加工が可能であり、光ファイバーによるエネルギー伝送により柔軟なライン構築が可能である。低出力から高出力まで安定したレーザー発振が可能で、優れた操作性と充実した外部制御機能を持つ。 取引先業界は、エレクトロニクス関連、ディスクドライブ部品、酸化物ウェーハ、半導体製造装置用各種部材など、精密な洗浄が求められる分野である。企業規模に関する具体的な数値は示されていないが、専用プロセスラボや多様な洗浄・乾燥技術、レーザー装置の開発能力を有することから、高度な技術力と専門性を持つ企業と推察される。

スピードファムクリーンシステム株式会社の詳細情報