株式会社テクノサーチ

株式会社テクノサーチの概要

半導体製造装置、金属および酸化物結晶育成装置の製造、販売、メンテナンスサービスを主力事業とする。特に、酸化物単結晶引き上げ装置、高圧単結晶引き上げ装置、化合物多結晶育成装置、多目的結晶育成炉（CZ、FZ、BM炉）、石英ファイバー線引き装置、各種ブリッジマン炉（真空、常圧、高圧）、アーク溶解炉、単アーク式単結晶育成装置（トリアーク、テトラアーク）、液相エピタキシャル成長炉、各種抵抗加熱炉などを製造品目とする。 主力製品には、CZ法、EFG法、BM法、FZ法、トリアーク式、テトラアーク式などの結晶育成装置があり、特に高温（2100℃、3000℃近傍）での結晶育成や、精密な温度制御（±0.5℃、±1℃）および駆動制御を特徴とする製品群を提供する。例えば、TCH-20はCZ/EFG方式で最大2100℃の加熱温度に対応し、TCA3-6およびTCA4-6シリーズはアーク溶解法により約3000℃の高温を実現する。また、線引き装置としては、石英ファイバーや多成分ガラス用の光ファイバー線引き装置（TDR-2シリーズ）を提供し、母材送り速度や線引きドラム回転速度の広範囲な調整、線径制御に重点を置いた機構を備える。成膜装置としては、磁性薄膜製作装置（TLR-10、TLR-12）があり、炉制御一体型や個別型、全自動システムに対応する。 技術的強みとしては、オーダーメイドによる各種装置の設計・製造能力、高度な技術開発を担う研究所、大学、企業との連携、結晶育成、高温加熱、真空加圧、コンピュータ制御などの関連ノウハウの提供が挙げられる。特に、アーク電流の精密駆動制御（特許取得）や、クリーンな高真空を実現する溶接ベローの採用、コンパクト設計による省スペース化と設置の容易さなどが特徴である。 取引先業界は、半導体製造、研究開発機関、大学などが想定される。従業員数は10名であり、東京都多摩市に本社・工場、兵庫県神戸市に営業拠点を置く。1996年12月17日に設立され、資本金は10百万円である。

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